新竹2023年11月28日 /美通社/ -- 半導體測試解決方案專業(yè)品牌蔚華科技(TWSE: 3055)攜手旗下數(shù)字光學品牌南方科技,共同推出業(yè)界首創(chuàng)的JadeSiC-NK非破壞性缺陷檢測系統(tǒng),采用先進非線性光學技術對SiC襯底進行全片掃描,找出襯底內(nèi)部的致命性晶體缺陷,用以取代現(xiàn)行高成本的破壞性KOH(氫氧化鉀)蝕刻檢測方式,可提升產(chǎn)量并有助于改善制程。若以每個SiC晶錠需蝕刻2片襯底來計算,JadeSiC-NK可為具有100個長晶爐的襯底廠省下每年5600萬因蝕刻而損耗的成本。
需求迅速爆發(fā) SiC襯底與組件供不應求 唯KOH是高成本痛點
在現(xiàn)今環(huán)境永續(xù)意識抬頭的全球趨勢下,許多國家已制定電動車的階段性政策目標,SiC芯片需求迅速爆發(fā),尤其用于生產(chǎn)電動汽車使用的耐高溫高壓SiC功率半導體組件,供給量遠遠不及需求。
第三代半導體的襯底材料質(zhì)量決定下游芯片的可靠度及性能優(yōu)劣,但SiC長晶速度較慢,且襯底晶體缺陷只能以破壞性的KOH蝕刻方式進行抽樣檢測,使得SiC芯片制程成本居高不下,目前全球主要襯底廠皆積極投資產(chǎn)能擴充并改善制程,加速產(chǎn)業(yè)布局以搶攻市占率。襯底廠與組件廠若能在制程中對材料做全面非破壞性檢測,不僅可減少原本KOH蝕刻的有害化學溶液使用量,更能及早發(fā)現(xiàn)問題,進而有效改善制程、提升良率,進而在第三代半導體市場中展現(xiàn)絕佳優(yōu)勢。
JadeSiC-NK以非線性光學檢測取代現(xiàn)行破壞性KOH蝕刻 可降低成本提高產(chǎn)能
南方科技總經(jīng)理王嘉業(yè)表示,目前市場上的光學技術只能檢測表面非晶體缺陷,JadeSiC-NK系統(tǒng)采用先進的非線性光學技術,可對全片襯底表面到特定深度進行掃描,反應晶體結構信息,提供晶體缺陷密度及其分布狀況,讓客戶有效掌握襯底質(zhì)量,未來生產(chǎn)出的組件質(zhì)量與效能也能更加穩(wěn)定。
王嘉業(yè)進一步說明,JadeSiC-NK非破壞性缺陷檢測系統(tǒng)專注在穩(wěn)定且有效地找出襯底中的致命性晶體缺陷(BPD, TSD, MicroPipe, Stacking Fault),相較現(xiàn)行將SiC晶錠切片后取上下二片襯底進行檢測的KOH蝕刻方式,可大幅節(jié)省檢測時間與襯底成本。以每個長晶爐每月產(chǎn)出四個晶錠為例,采用JadeSiC-NK后,每個晶錠可省下二片襯底成本(每片6寸襯底以800美元計),因此可推估一個長晶爐每年可省下人民幣56萬元,若是具有100個長晶爐的襯底廠,一年即可省下人民幣5600萬元!此外,JadeSiC-NK也可針對同一個晶錠進行100%的晶圓檢查,進行詳細的晶錠分析和批次追踨分析,協(xié)助客戶在高技術門檻的第三代半導體市場加速制程及產(chǎn)量優(yōu)化。
陽明交通大學光電工程學系講座教授郭浩中表示,蔚華與南方科技推出的JadeSiC-NK系統(tǒng),將非線性光學技術應用在第三代半導體的檢測分析,有助突破目前業(yè)界在量產(chǎn)及制程改善的技術瓶頸,對于產(chǎn)業(yè)鏈發(fā)展提供極大推力,期盼此系統(tǒng)能以更有效更穩(wěn)定的檢測方法,建立業(yè)界SiC襯底檢測標準,成為產(chǎn)業(yè)界非線性光學技術的領航品牌,引領市場應用持續(xù)創(chuàng)新及突破。
從設備代理到自有產(chǎn)品 跨足光學檢測領域 蔚華科技前景可期
蔚華科技總經(jīng)理楊燿州表示,考慮經(jīng)銷代理的不穩(wěn)定性及追求更好的獲利結構,蔚華不斷加強投資自有產(chǎn)品開發(fā)以求推出更貼近客戶需求的解決方案,此次透過并購南方科技,加速自有產(chǎn)品的發(fā)展進程,讓蔚華從半導體封測設備跨足光學檢測,首先鎖定極具前景的第三代半導體材料缺陷檢測,對客戶、員工及投資人來說都將是非常振奮人心的新局。
楊燿州進一步指出,蔚華與南方科技自經(jīng)銷合作以來就秉持共同成長、互相成就的初心,成立先進光學材料檢測實驗室讓獨特的光學檢測技術更快進入業(yè)界應用,透過客戶的反復驗證,進而調(diào)整產(chǎn)品規(guī)格以滿足客戶需求。除了將非線性光學技術應用在本次推出的JadeSiC-NK外,未來也將加速將南方科技在MicroLED、超穎材料、硅光子等先進光學檢測技術的商業(yè)化,持續(xù)加大研發(fā)能量有效整合集團資源,發(fā)揮綜效。
光電科技工業(yè)協(xié)進會董事長邰中和則表示,非常樂見兩家臺灣企業(yè)透過互補雙贏的結合產(chǎn)生綜效,更為產(chǎn)業(yè)創(chuàng)造巨大價值。蔚華與南方科技推出的JadeSiC-NK系統(tǒng)是極具指針性的技術突破,不但對全球第三代半導體業(yè)來說是可以大幅降低成本并增加產(chǎn)能的革命性產(chǎn)品,更能讓全球看見蔚華與南方科技在光學領域的技術實力,在未來蓬勃發(fā)展的第三代半導體市場扮演關鍵角色。
關于蔚華科技
蔚華科技(股票代碼:3055)是大中華地區(qū)半導體封測解決方案專業(yè)品牌,擁有先進的全方位解決方案及產(chǎn)品,提供半導體各個制程與不同產(chǎn)品的測試、封裝、檢測、驗證等設備銷售、應用工程與客戶服務需求,合作伙伴包括NI, Osai, SEMICS, AFORE, ERS, Hamamatsu, ShibaSoku, Southport, TASMIT, TESCAN, Toray Engineering, Turbodynamics等全球多家半導體設備領導品牌。蔚華集團以專業(yè)分工,提供半導體、電子制造、通訊及車用電子等科技產(chǎn)業(yè)高質(zhì)量的整合解決方案。蔚華科技成立于1987年,總部位于臺灣新竹,于上海、蘇州、深圳、成都、高雄皆有服務據(jù)點。更多訊息請瀏覽公司官網(wǎng) www.spirox.com。
關于南方科技
南方科技成立于2014年8月,創(chuàng)辦團隊集合了光學、材料、物理、信息等跨領域人才,將新穎的光學設計觀念導入光學工程領域。透過先進光學簡單化、模塊化、數(shù)字化的核心理念(光學模塊化、數(shù)字化、軟件化的核心理念,讓艱深的光學運用更為友善及簡單),使研究人員專注在研究開發(fā)工作,改善實驗設計觀念、提升研究效率、縮短研發(fā)時程、揮灑研發(fā)創(chuàng)意,加速研究與產(chǎn)業(yè)技術發(fā)展的進程。南方科技以『5D顯微術』與『數(shù)字光學』兩大核心技術為基礎,將嶄新的光學觀念與技術導入先進材料分析、生醫(yī)影像、顯微3D光學檢測與數(shù)字光學應用四大應用領域。在不同的應用領域,南方致力于研發(fā)與創(chuàng)新,深入了解行業(yè)痛點并且專注解決關鍵問題。更多訊息請瀏覽公司官網(wǎng) www.southport.com.tw。